多功能真空实验仪

真空实验仪是一个真空实验平台。由真空获得部分、真空镀膜机构和电控及仪表等部分组成，能够很直观反映真空获得的全过程。

国家实用新型专利：ZL 2007 2 0107661.X，全国物理实验仪器评比三等奖；

主要实验内容

    真空的获得与测量、蒸发法薄膜制备；

主要技术参数

1、设备的真空室、油扩散泵、真空管路部件全透明；

2、电气控制有安全防护，防止误操作对人员和设备造成损伤；

3、采用不锈钢、真空橡胶管结合管路，阀门为电控双向截止阀；

4、真空室：304不锈钢底盘和玻璃钟罩组成，尺寸：Φ230×260mm；

5、真空测量：数显复合真空计；

6、衬底温度：室温～200℃（PID控温）；

7、抽气系统：2XZ-4B机械泵+四级玻璃扩散泵，需水冷；

8、极限真空：9.6×10^-4Pa；恢复真空：5×10^-3Pa＜40分钟；

9、1组无氧铜电极，蒸发功率：AC10V/150A；衬底加热、烘烤除气；

10、可镀膜尺寸：Φ70mm

11、整机功率：3kW；16A插座；

12、工作电源：AC220V±5，50Hz；

13、用户需自备或另购冷却水系统。